真空密封從密封圈的材料來分主要有橡膠、聚四（sì）氟乙（yǐ）烯、聚氨酯等合成材料組成的密封以及金屬密封（fēng）。

　　橡（xiàng）膠（jiāo）、合成材料具有的（de）高彈性、高耐磨性和適（shì）宜的機械（xiè）強度等（děng）優點，使其廣泛應用於（yú）真空密封，但是（shì）因（yīn）其具有（yǒu）較大的出氣率和滲透率，並且不能高溫烘烤、不耐輻射等（děng）特點，而受到應（yīng）用（yòng）限製。

　　金屬密封則彌補（bǔ）了橡膠密封的以上缺點（diǎn），因（yīn）而廣泛應用於超高真空環（huán）境。對於超高真空（kōng），一般要求漏率（lǜ）小（xiǎo）於（yú）1×10-11Pa·m3/s，為了更好的密封配（pèi）合，一（yī）般（bān）要求重慶法蘭密封麵（miàn）的粗糙度≤Ra0.8。由於金屬材料同樣具有（yǒu）一定的（de）彈性以（yǐ）及（jí）延（yán）展性，所以常常作（zuò）為（wéi）各（gè）種真空以及壓力設備的密封。

　　在金屬密封圈受到外界壓（yā）力而發（fā）生彈性（xìng）變形時（shí），在彈性恢複力的（de）作用下，密（mì）封圈具有恢（huī）複（fù）原始形狀的趨（qū）向，這種趨（qū）向填補了密封（fēng）麵的縫隙，從（cóng）而起到密封的作用。

　　應用金屬的（de）彈性作為密封件的（de）材料有：無氧銅（tóng）、純鋁、金、銀（yín）等（děng）硬度相對較軟的金（jīn）屬;某（mǒu）些（xiē）金屬如金屬銦，因其（qí）具有很好的延展性，在受到（dào）外界壓力後可以向各個方向流動（dòng），填補密封麵縫隙，同樣（yàng）可（kě）以起到密（mì）封作用。

　　無（wú）氧銅和（hé）純（chún）鋁（lǚ）價格相對便宜（yí），常作為標準件密封（fēng）圈使（shǐ）用。無氧銅密封圈在（zài）刀口重慶法蘭(CF)中使用（yòng）最廣，並且已形成國家標準，具（jù）體可（kě）參考標（biāo）準GB/T6071-2003《超高真（zhēn）空法蘭》。